Het hoofdkantoor en bedrijvencomplex van ASML staat in Veldhoven, waar zowel research and development als assemblage in cleanrooms plaatsvindt. Het bedrijf heeft tevens zestig servicepunten in veertien landen ter ondersteuning van de plaatsing en levering van machines en reserve-onderdelen.

ASML is ontstaan uit een joint venture van ASM International en Koninklijke Philips. Het bedrijf is sinds 1995 beursgenoteerd en vormt een onderdeel van de AEX en NASDAQ onder het symbool ASML. Voornaamste concurrenten zijn Canon en Nikon.

Strategische aandeelhouders
In juli 2012 maakte ASML bekend dat het 25% van het aandelenkapitaal heeft gereserveerd voor technologiebedrijven die ook belangrijke afnemers zijn. Deze aandeelhouders worden partners in het zogenaamde Customer Co-Investment Program dat zich richt op onderzoek en ontwikkeling van een nieuwe generatie lithografietechnologieën. De ontwikkeling van wafers met een diameter van 450mm maakt hier onderdeel van uit en ook de verdere ontwikkeling van de chips productie met EUV (Extreem UltraViolet). Dit programma behelst een totale investering van € 1,38 miljard gespreid over de jaren 2012 tot en met 2017. De opbrengst van de aandelenverkoop, circa € 4,2 miljard, zal worden gebruikt om voor eenzelfde bedrag bestaande aandelen terug te kopen. Op 4 december 2012 maakte ASML bekend dat de aandelen daadwerkelijk zijn ingekocht. In totaal zijn 96,6 miljoen aandelen uit de markt gehaald tegen een gemiddelde koers van € 39,91 per aandeel. ASML heeft in totaal € 3,85 miljard besteed aan deze aandeleninkoop. De aandelen die aan de strategische aandeelhouders zijn verstrekt hebben géén stemrecht. De partners mogen geen aandelenbelang van meer dan 19,9% in ASML opbouwen in de komende zes jaar.

Het Amerikaanse Intel was de eerste strategische aandeelhouder; Intel verkreeg een aandelenbelang van 15% en gaat € 830 miljoen aan het ontwikkelingsprogramma bijdragen. Voor Intel betekent dit een totale investering van € 3,3 miljard. Medio augustus volgde het Taiwaneese chipbedrijf TSMC dat voor € 838 miljoen een aandelenbelang van 5% in ASML kocht. Ook dit bedrijf zal de komende vijf jaar € 276 miljoen in het project investeren. De laatste strategische aandeelhouder is Samsung Electronics; Er volgde een investering van € 276 miljoen en daarnaast nam het Zuid-Koreaanse bedrijf een belang van 3% in ASML.

Op 16 januari 2015 werd bekend dat TSMC het pakket aandelen uit 2012 met ongeveer een half miljard euro winst had doorverkocht aan een grote investeerder.